> > > >

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие. Гриф УМО вузов России

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие. Гриф УМО вузов России

Оставить отзыв
  • ISBN: 978-5-369-01299-4
  • 2014 г.
  • РИОР
Издательство РИОР
Год выпуска 2014
Срок комплектации до 10 рабочих дней
ISBN 978-5-369-01299-4
Язык Русский

Книга посвящена научно-технологическим основам электро химических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров. ISBN:978-5-369-01299-4,978-5-16-009298-0,978-5-16-100019-9

Нет в наличии